基于微分相衬方法定量测量表面微观形貌

• 作者: 叶梅 叶虎年 宋建萍 许忠保
• 来源期刊: 华中科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 表面微观形貌 微分相衬 点扩展函数 维纳滤波
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TP246
• 字数: 1825字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2004.02.022

摘要

改进了用于定量测量样品表面微观形貌的微分相衬干涉显微镜系统,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差ΔΦ进行了精确的计算和校正,系统不需要参考表面和机械扫描机构,能有效地抑制机械振动等外界环境干扰对测量结果的影响.并通过建立相应的数学模型推导了系统的点扩展函数.最后用维纳滤波算法恢复了图像,避免了普通逆滤波中的病态问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶梅	华中科技大学机械科学与工程学院	26	165	6.0	12.0
2	叶虎年	华中科技大学机械科学与工程学院	37	365	11.0	18.0
3	许忠保	华中科技大学机械科学与工程学院	2	21	2.0	2.0
4	宋建萍	十堰职业技术学院计算机系	1	5	1.0	1.0