基于自参考的高精度红外点衍射干涉仪研制

• 作者: Casey Deen Sarah Kendrew Stefan Hippler Wolfgang Brandner 张艳丽 朱健强 杨朋千 缪洁
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 测量 点衍射干涉仪 分束器 离轴 窗口傅里叶变换
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 178-183
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0508001

摘要

介绍了一种结构简单紧凑、可用于高精度实时相位波前测量的红外点衍射干涉仪,采用类迈克耳孙的光学结构,并结合低通小孔滤波,同时使用窗口傅里叶变换的方法解调单幅离轴载波条纹.与传统波前测量技术相比,所提出的准共光路的光学系统结构有效地抑制了系统像差及外部环境干扰等对测量结果的影响,实现高精度和高分辨率的波前探测.实验结果表明,该方法能够实现高精度的相位测量,且其重复精度达到了纳米量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健强	中国科学院上海光学精密机械研究所	147	1132	17.0	31.0
2	张艳丽	中国科学院上海光学精密机械研究所	26	123	6.0	11.0
3	缪洁	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	4	1.0	2.0
4	杨朋千	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	12	3.0	3.0
5	Stefan Hippler	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0
6	Casey Deen	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0
7	Wolfgang Brandner	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0
8	Sarah Kendrew	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0