点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析

• 作者: 于杰 代晓珂 金春水
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学检测 点衍射干涉仪 波面参考源 误差研究 公差分析
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与测试
• 页码范围: 855-862
• 页数: 8页
• 分类号: O436.1
• 字数: 4558字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140705.0855

摘要

为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点，同时又能实现大数值孔径（ NA）光学系统的检测，设计了一种新型的波面参考源（WRS），它保留了光纤点衍射和微孔点衍射的优点，可满足大NA极紫外光刻物镜系统波像差检测的要求。本文在分析各种误差的基础上，搭建了WRS原理光路并对WRS的系统误差标定算法进行详细的研究，得到WRS标定时旋转平台的角度公差为0.5°，跳径时偏离系数为0.5％。这一新型WRS误差分析及标定对于实现高精度的检测具有十分重要的意义，最终为实现WRS系统误差标定提供理论基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	56	202	9.0	11.0
2	于杰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	10	15	3.0	3.0
3	代晓珂	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	2	4	1.0	2.0