三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用

• 作者: 余锦 刘洋 张雪 樊仲维 聂树真 貊泽强 陈波 黄玉涛
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 三波长激光器 皮秒激光 精细加工
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 153-159
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/LOP50.051402

摘要

为了满足不同材料的精细加工需求,采用三波长皮秒激光器作为光源,配合自行设计的光学系统和控制系统,研制了三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统.该系统可使用任意一种、两种或三种激光波长进行同工作距加工,通过轴向色差补偿设计,实现轴向焦点补偿最大距离0.4 mm,最小焦斑直径为3μm.初步探讨了该系统在微电子行业的应用,进行了铜电极板、手机屏的切割实验以及位置敏感阳极探测器图形的制作,实验证明该系统可满足多种材料的精细加工要求.