充液型可调双焦微透镜的设计与仿真

• 作者: 张斌珍 杨潞霞 毛静 王春水 龚珊
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微透镜 可调双焦 仿真 ZEMAX
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 固体电子器件及材料
• 页码范围: 608-611
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 2734字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2013.05.006

摘要

可调双焦微透镜由底部的含有内外薄膜的PDMS主体结构和包含出入液口的PDMS盖片组成.微透镜可以通过紫外光刻、软光刻工艺制得.使用ANSYS仿真得到PDMS内外薄膜在不同压强下的变形图,然后利用ZEMAX仿真得到透镜的内外焦距、焦距差和光线追迹图、成像图.上述设计与仿真将为可调双焦微透镜的实际应用提供理论依据.由于微透镜的主光轴平行于基底,便于与其他光学器件集成,可广泛应用于微流检测、光镊等领域.