一种高稳定低电压扫描隧道显微镜镜体结构

• 作者: 张福光 王刚 陆轻铀 陈旭
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 原子分辨率 扫描隧道显微镜 镜体结构
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器研制与开发
• 页码范围: 109-112
• 分类号: TG115.28|TB383|TH742
• 语种: 中文

摘要

本文报告了一种高稳定的扫描隧道显微镜镜体结构.该镜体结构融入了多项提高稳定性和成像精度的考虑:(1)镜体被设计成了高中心对称结构;(2)粗逼近马达(竖直安置的压电惯性马达)和扫描结构被设计成互相独立,使得粗逼近马达的不稳定性不会传递到扫描结构中去;(3)粗逼近马达的向上步进被设计成了由压电体更有力的伸长形变(而非驱动力较小的收缩形变)来驱动,以降低控制电压(从而改善电子学噪声与精度),实现了首个＜18V低电压竖直步进STM;(4)扫描结构被设计成小型,且由热膨胀系数较小且相近的蓝宝石和高纯钛按热膨胀并行相消来设计;(5)粗逼近马达的步进由高抛光的蓝宝石珠在高抛光的蓝宝石棒导轨上的滑动实现,从而在不增加摩擦力阻力的条件下(利于实现低电压STM)可大大增加镜体刚性,减少漂移.该扫描隧道显微镜的性能测试由其所成的清晰原子分辨率图像(室温大气环境中的石墨样品成像)得到展示.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王刚		6	10	2.0	3.0
2	陈旭		1	1	1.0	1.0
3	陆轻铀	中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家实验室	2	1	1.0	1.0
4	张福光		1	1	1.0	1.0