双孔载频剪切散斑干涉法测量表面动态形变

• 作者: 朱猛 李宏跃 李翔宇 黄战华
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 散斑干涉 剪切干涉 空间载频 动态形变测量
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1701-1706
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1|TH744.3
• 字数: 2676字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132107.1701

摘要

为了精确地测量物体表面的动态形变并得到形变高度和梯度信息,提出了一种基于双孔衍射结构的空间载频剪切散斑干涉法.该方法采用双孔产生固定的载频条纹,利用双旋转光楔实现剪切量的连续调节,采用正弦拟合算法进行相位计算.首先,分析了双孔调制的相位载频与双孔距和像距之间的关系,讨论了双旋转光楔得到线性剪切量调整的实验参数.然后,设计了测量光路参数;采用孔距为3.8 mm的双孔径配合焦距为80 mm的成像镜头在物距为300 mm时得到了载频为π/2的散斑场.最后,对动态形变的薄金属板进行了测量.实验结果表明:配合实时图像处理系统,该方法可以在帧率为15 frame/s的采集速度下实现动态形变的测量与显示,可测形变峰值为0.11～1.15 μm.本系统结构简单,易于集成,适用于动态形变的实时检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄战华	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室	118	839	13.0	22.0
2	朱猛	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室	16	91	6.0	8.0
3	李翔宇	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室	8	57	5.0	7.0
4	李宏跃	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室	1	8	1.0	1.0