飞秒激光微加工的研究进展

• 作者: 于楷 孙会来 赵方方 顾理
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 微加工 烧蚀 双光子聚合
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 2470字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2013.01.003

摘要

综述了近年来国内外利用飞秒激光微加工的研究进展.飞秒激光脉冲作为材料微纳加工的一项工具,已经从实验室进入到工业化阶段.介绍了飞秒激光在微纳加工领域的一些研究情况,分别就飞秒激光烧蚀微加工以及双光子聚合加工进行了阐述.最后分析了飞秒激光微加工目前存在的问题及未来发展的主要方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于楷	辽宁省铁岭港华燃气有限公司技术设备部	3	64	3.0	3.0
2	孙会来	天津市现代机电装备重点实验室天津工业大学机械工程学院	2	58	2.0	2.0
4	顾理	天津市现代机电装备重点实验室天津工业大学机械工程学院	1	49	1.0	1.0
10	赵方方	天津市现代机电装备重点实验室天津工业大学机械工程学院	1	49	1.0	1.0