为从源头上消除硅微陀螺的正交误差,采用静电修调方法,研究正交校正结构设计问题.在分析静电修调原理的基础上,探讨校正电极设计原则以及结构形式的选取,设计布局方案消除干扰静电力,并通过参数优化提高校正结构的面积利用效率.为自主研制的某型双质量硅微陀螺设计正交校正结构,使其理论上具备以12 V 直流电压校正405(°)/s 正交误差的能力.加工试验表明,对具有354(°)/s 正交误差的表头,施加11.6 V 直流电压可实现正交校正,结构的正交校正能力略小于但接近设计值.研究的正交校正结构设计方法在线振动式 Z 轴硅微陀螺中具备通用性和实用价值.