隧道磁阻微陀螺结构设计与加工

• 作者: 丁希聪 李孟委 秦世洋
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 隧道磁阻效应 柯氏力 微陀螺 谐振频率 结构灵敏度
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 180-185
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 1987字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2019.02.015

摘要

微机械陀螺的核心技术是微弱柯氏力的检测,而常规的微弱柯氏力检测水平已达到极限.本文设计了一款新颖的基于隧道磁阻效应检测的面内微陀螺结构,利用隧道磁阻效应的高灵敏特性来实现微弱柯氏力的高灵敏检测.阐述了隧道磁阻微陀螺的工作原理,分析了微陀螺的动力学方程,完成了微陀螺结构设计、工艺加工及测试.测试结果表明:微陀螺驱动方向和检测方向谐振频率分别为6 853 Hz和6 854 Hz,与理论仿真基本一致;微陀螺驱动方向Q值为571.1,检测方向Q值为527.3,结构灵敏度为15.3nm/°/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李孟委	中北大学微系统集成研究中心	30	75	5.0	7.0
10	丁希聪	中北大学微系统集成研究中心	1	1	1.0	1.0
19	秦世洋	中北大学微系统集成研究中心	3	1	1.0	1.0