微小非球面光学模具单点斜轴误差补偿磨削

• 作者: 余剑武 尹韶辉 胡天 陈逢军
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单点斜轴磨削 误差补偿 光学模具 微小非球面 碳化钨
• 年，卷（期）: 2013,（17）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造与检测专栏
• 页码范围: 59-64
• 页数: 6页
• 分类号: TG58
• 字数: 2736字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2013.17.059

摘要

针对微小非球面光学透镜模具的纳米单点斜轴误差补偿磨削进行研究.通过分析比较传统的直交轴磨削法,提出微小非曲面光学模具的单点斜轴磨削方式,有效避免微细砂轮在加工微小非球面时发生干涉情况;采用单点恒定磨削方式提高微小非球面磨削的稳定性及精度.通过分析磨削区域内微细砂轮与微小非球面的干涉情况,从而合理计算并选用较高强度的微细砂轮.提出微小非球面误差补偿磨削策略,分析砂轮的对心误差(x轴向和y轴向)对形状精度的影响,采用法向残余误差补偿的方法对加工后的形状误差进行超精密补偿磨削.利用超精密磨床对口径为2mm的超硬热压模具碳化钨材料的微小非球面进行纳米单点斜轴误差补偿磨削试验,经过三次超精密磨削及误差补偿循环,其形状精度PV从l 034 nm改善至146 nm,表面粗糙度达到Ra2.19 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈逢军	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	43	418	10.0	18.0
2	余剑武	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	56	447	10.0	19.0
3	尹韶辉	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	66	540	12.0	20.0
4	胡天	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	3	28	2.0	3.0