菲涅耳微透镜芯模表面形貌的检测及加工误差分析

• 作者: 刘佳 江茂清 王星星 邹文栋 龚勇清
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 菲涅耳微透镜 菲涅耳波带板 芯模 扫描白光干涉术 三维形貌 加工误差
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1160-1166
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1|TH744.3
• 字数: 3937字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132105.1160

摘要

采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测,并对元件表面微观形貌进行了三维重建.根据其表面形貌数据,引入幅度参数表征法,分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度误差等纵向加工偏差.通过表面高度分布的偏斜度、表面高度分布的峭度等参数获得了有关微芯模表面误差和缺陷的量化信息.实验研究表明,扫描白光干涉法能精确定量化表征微芯模表面形貌特征,这对探索适用于新型微光学器件表面三维形貌误差的无损检测评价方法具有实际意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹文栋	南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室	57	557	12.0	22.0
2	龚勇清	南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室	46	171	7.0	11.0
3	刘佳	南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室	1	2	1.0	1.0
4	王星星	南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室	2	3	1.0	1.0
5	江茂清	南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室	3	3	1.0	1.0