锆钛酸铅薄膜的生长与表征

• 作者: 包达群 张翊 潘峰 王建艳 郭航
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 锆钛酸铅薄膜 热处理 退火 铁电特性 溶胶凝胶法
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2893-2899
• 页数: 7页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3234字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132111.2893

摘要

研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrr,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试.根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上.利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的形貌、成分进行了表征测试.在此基础上,采用微机电系统(MEMS)工艺,开发了可用于测试PZT薄膜材料特性的工艺流程与测试样品.然后,利用标准铁电测试仪对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的极化强度进行了铁电特性测试.结果表明,在400℃进行热处理,650℃进行退火的条件下制备出的PZT薄膜其成分和形貌比较好,铁电特性较优,能够应用于MEMS器件与纳米器件的制造中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张翊	厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院	12	89	5.0	9.0
2	潘峰	厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院	33	154	7.0	11.0
3	包达群	厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院	2	4	2.0	2.0
4	郭航	厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院	34	112	6.0	8.0
8	王建艳	厦门大学物理与机电工程学院	3	10	2.0	3.0