接触式三坐标测量自由曲面轮廓的数据处理模型

• 作者: 仇谷烽 余景池 倪颖 王毅 黄启泰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 自由曲面 轮廓测量 三坐标测量仪 数据处理模型 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2813-2820
• 页数: 8页
• 分类号: TH72|TB92
• 字数: 4636字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132111.2813

摘要

为了能够在接触式自由曲面轮廓测量过程中放宽对工件位置调整的要求并提供高精度的测量结果,本文运用最小二乘法的基本原理,提出了一个可通过测量数据拟合出一个最佳位置放置参数的数学模型.该模型能同时校正自由曲面放置时存在的绕X、Y、Z轴的微小旋转量及沿X、Y、Z方向上的微小偏离量所造成的测量误差.大量数学模拟结果表明,该模型在恢复上述误差源上具有很高的精度,可精确地恢复1 cm以下的偏心和0.1°以下的旋转量.对一实际自由曲面的测量结果表明,该模型可靠有效,为接触式三坐标测量自由曲面轮廓提供了宽松的镜子放置条件,同时提供了可靠的测量结果.其分析数据的基本原理对其它非接触式的自由曲面的轮廓测量同样具有较高的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄启泰	苏州大学现代光学研究所	7	96	6.0	7.0
2	余景池	苏州大学现代光学研究所	41	634	17.0	23.0
3	王毅	苏州大学现代光学研究所	24	224	8.0	14.0
4	倪颖	苏州大学现代光学研究所	8	146	6.0	8.0
5	仇谷烽	苏州大学现代光学研究所	4	78	4.0	4.0