接触式非球面轮廓测量的数据处理模型

• 作者: 仇谷烽 懈滨 杨晓飞 王毅 郭培基
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面轮廓测量 轮廓仪 数据处理 数学模型 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 492-498
• 页数: 7页
• 分类号: TH703
• 字数: 4746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.04.009

摘要

在分析接触式轮廓测量仪误差的基础上,以最小二乘法为基本数学理论,提出了一种能同时校正由于非球面镜放置时存在的X、Y方向的倾斜、X、Y、Z方向的偏心,曲率半径不准确、以及由于轮廓仪的旋转中心与探测头的零点之间随机的微小偏移所造成的测量误差的数学模型.数学模拟表明,该模型在校正上述误差源上具有极高的精度,对1 cm以下的偏心和0.1°以下的倾斜可无误差地恢复,对曲率半径的恢复也极为有效.实际工程应用的结果表明,模型是可靠有效的,为接触式非球面轮廓测量提供了一个宽松的镜子放置条件及自动拟合最佳曲率半径的功能.特别是自动校正由于轮廓仪的旋转中心与探测头的零点之间的随机微小偏移所造成的测量误差的功能提高了测量仪的测量精度和测量结果的重复性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭培基	苏州大学现代光学研究所	25	387	12.0	19.0
2	王毅	苏州大学现代光学研究所	24	224	8.0	14.0
3	仇谷烽	苏州大学现代光学研究所	4	78	4.0	4.0
4	懈滨	苏州大学现代光学研究所	1	31	1.0	1.0
5	杨晓飞	苏州大学现代光学研究所	1	31	1.0	1.0