摆臂式非球面轮廓仪的原理与试验

• 作者: 戴一帆 李圣怡 贾立德 郑子文
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面 摆臂式轮廓仪 面形测量 接触式检测
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 499-504
• 页数: 6页
• 分类号: TH703
• 字数: 2330字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.04.010

摘要

介绍了一种新颖的非球面轮廓仪的测量原理和测量试验,它通过测量非球面与某一参考球面之间的偏离量来唯一确定非球面的面形误差,通过调整测量臂长以及回转轴线与光轴之间的夹角实现对不同非球面的测量.系统主要由高精度两维转台,高刚度测量臂,四自由度微调系统和高精度扫描测量传感器组成,并分别在VC++6.0与MATLAB平台上开发了测控软件以及数据处理软件.该测量方法的优点是测量所需传感器量程小,测量运动为一个简单的回转运动;缺点是测量调整自由度多,校准困难.建立了测量系统的数学模型,通过测量数据与名义面形之间的非线性优化,在获得面形误差的同时获得了非球面面形参数误差.通过测量多条截线实现了对非球面面形的全口径检测.最后对直径200 mm,顶点曲率半径1 400 mm的凹形抛物面镜进行了测量,结果表明,系统重复精度优于0.8 μm,精度优于1 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科技大学机电工程与自动化学院	109	1657	23.0	33.0
2	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
3	郑子文	国防科技大学机电工程与自动化学院	18	173	9.0	12.0
4	贾立德	国防科技大学机电工程与自动化学院	7	84	5.0	7.0