分体型萨格奈克干涉仪的精密装调

• 作者: 张学敏 李华 杨建峰 段嘉友 闫肃 魏儒义
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 精密装调 萨格奈克干涉仪 分体型 位置精度 角度精度
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 251-256
• 页数: 6页
• 分类号: TN205
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0416001

摘要

基于分体型萨格奈克干涉仪的基本原理,针对通光口径为60 mm、光谱通道数为65的分体型萨格奈克干涉仪,模拟了干涉仪反射镜装配误差引起的干涉条纹变化情况,分析了装配误差对干涉条纹的影响,并根据设计指标推导了干涉仪系统装调的位置精度及角度精度要求.详细介绍了实现干涉仪精密装调的系统方案,其中包括装调主平面的建立、分光棱镜的精确定位以及干涉仪长臂反射镜、短臂反射镜的精密定位调整,整个装调方案基于自准直原理并通过巧妙的基准转换关系最终实现了干涉仪安装位置精度优于0.01 mm、安装角度精度优于1″、系统主截面重合精度优于1″的高精度装配要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李华	中国科学院西安光学精密机械研究所	189	3087	30.0	49.0
2	杨建峰	中国科学院西安光学精密机械研究所	97	1262	20.0	30.0
3	张学敏	中国科学院西安光学精密机械研究所	13	39	5.0	5.0
4	魏儒义	中国科学院西安光学精密机械研究所	16	82	6.0	8.0
5	段嘉友	中国科学院西安光学精密机械研究所	6	7	1.0	2.0
6	闫肃	中国科学院西安光学精密机械研究所	2	11	1.0	2.0