关于高分辨率投影光刻机光瞳整形技术的分析

• 作者: 林盛浩 王友旺
• 来源期刊: 科技致富向导
• 关键词: 高分辨率投影光刻机 光瞳整形 光学制造
• 年，卷（期）: 2013,（23）
• 所属期刊栏目: 科技论坛
• 页码范围: 62,139
• 页数: 2页
• 字数: 3111字
• 语种: 中文

摘要

本文就针对目前高分辨率投影光刻机所实现的高成像性能、高分辨率进行阐述,并对高分辨率投影光刻机系统下,不同光瞳整形技术的原理、设计、性能等进行回顾性分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王友旺		3	0	0.0	0.0
2	林盛浩		1	0	0.0	0.0