高功率激光装置大口径光学元件侧面清洗实验

• 作者: 叶亚云 王洪彬 秦朗 程晓锋 苗心向 袁晓东 贺少勃 郑万国
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 取样光栅 激光预处理 激光清洗 化学刻蚀
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 890-894
• 页数: 5页
• 分类号: TN248
• 字数: 3444字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132504.0890

摘要

针对高功率激光装置内部最易产生受激布里渊散射(SBS)效应的大口径取样光栅(BSG)元件,测试了经过化学刻蚀、紫外激光清洗作用处理后,大口径光学元件BSG侧面在355 nm激光辐照下的损伤阈值、损伤形态以及产生的石英颗粒气溶胶对环境污染程度的分析.结果表明:经过化学刻蚀,BSG侧面的损伤阈值提高78％,基本与通光面的损伤阈值相当,而经过紫外激光处理后的损伤阈值提升不高,仅为通光面损伤阈值的56％.侧面对比分析了相同激光能量辐照下样片侧面产生的气溶胶污染状况,结果表明紫外激光处理同样可以提高光学元件侧面产生污染物的阈值,且对光学元件性能没有影响.通过微观形貌和对通光口径影响分析表明,紫外激光清洗处理比化学刻蚀具有更好的安全性和适用性.