等离子体尺寸对放电极紫外光源影响

• 作者: 徐强 李琦 王骐 赵永蓬
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外光刻光源 毛细管放电 Xe等离子体 13.5 nm辐射 Z箍缩
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 2631-2635
• 页数: 5页
• 分类号: TN23|O434.2|TM89
• 字数: 2783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132510.2631

摘要

计算了放电等离子体极紫外光刻光源中,不同等离子体长度条件下的收集效率,实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响.结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果,给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13.5 nm(2％带宽)光功率.结果表明等离子体长度为3～6 mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优.