浅谈集成电路厂房洁净室暖通设计

• 作者: 朱冬林
• 来源期刊: 商品与质量·建筑与发展
• 关键词: 集成电路 洁净室 空调 排烟
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 水利电力技术
• 页码范围: 181-182
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

随着集成电路工业迅猛发展,对于洁净室的生产环境提出了更高的要求,本文结合作者所设计工程项目的经验,论述了集成电路生产厂房洁净室的空调系统设计和机械排烟系统设计的几种不同方案形式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱冬林		2	0	0.0	0.0