MIM电容研究进展

• 作者: 张秋香
• 来源期刊: 企业技术开发（下半月）
• 学科: 工学
• 关键词: MIM电器 ALD high-k材料
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 机械机电
• 页码范围: 90-91
• 页数: 2页
• 分类号: TM53
• 字数: 2491字
• 语种: 中文

摘要

随着集成电路的发展,传统的电容器件已经不能满足射频电路的要求.金属一绝缘体-金属(MIM)电容器件成为替代传统电容器的新型电容器件.文章介绍了对MIM电容的要求,制备MIM电容的主要方法,总结了MIM电容的研究现状以及待解决的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张秋香	上海建桥学院机电学院电子工程系	4	7	2.0	2.0