一个有害气体监测系统

• 作者: 李志华
• 来源期刊: 建材发展导向
• 关键词: 半导体外延 有害气体 监测
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 勘查与测绘
• 页码范围: 180-181
• 页数: 2页
• 字数: 713字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了半导体外延行业所用的一个有害气体监测系统，该系统成本适中，可靠性高，可以广泛应用于有害气体涉足的行业。本人因在半导体外延装备行业工作多年，主管外延设备电气设计及公司厂务工程技术改造，积累了较多经验，在此分享这个系统，希望大家了解半导体外延行业，促进行业内外交流与学习。此工程项目仅作参考，其他企业实际应用过程中，也应当结合自身的成本预算和功能需求，对本监测系统进行进一步的优化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志华		2	0	0.0	0.0