基于单片机的磁控溅射稳压开关电源设计

• 作者: 周志文 马安仁
• 来源期刊: 工业仪表与自动化装置
• 关键词: 磁控溅射 开关电源 镀膜 SG3525
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 新产品介绍
• 页码范围: 106-108
• 页数: 3页
• 分类号: TP273|TB43
• 语种: 中文

摘要

磁控溅射真空镀膜技术与传统的化学电镀技术相比，具有环保、降耗、减排等优点，磁控电源是这种镀膜装置的关键部件之一。该文研究和设计了以高频开关电源技术为基础的高效率、大功率磁控稳压电源。文中介绍了主电路、控制电路的原理设计，用Matlab仿真软件搭建了电路模型，并进行了仿真实验，在此基础上完成了硬件电路、软件程序设计。通过AT89 C51单片机实现了在不同工作方式下电源输出电压和电流的调节。实际应用证明该电源具有恒流控制效果好，可靠性高，工作稳定等优点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周志文	西北民族大学电气工程学院	35	108	5.0	8.0
2	马安仁	西北民族大学电气工程学院	14	32	4.0	4.0