基于DSP的直流磁控溅射电源设计

• 作者: 周志文 王晓燕
• 来源期刊: 工业仪表与自动化装置
• 关键词: 磁控镀膜 开关电源 仿真 DSP
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 47-49
• 页数: 3页
• 分类号: TP273|TB43
• 语种: 中文

摘要

该文通过研究磁控靶工作时的负载特性,设计了以全桥逆变开关电源技术为基础的高效、大功率磁控溅射电源.利用Matlab搭建的模型对电路的参数、输出波形进行了仿真,在仿真的基础上完成了主回路、控制电路硬件及软件程序的设计及样机测试,并在JTP-1400型磁控溅射镀膜机上进行了实验.实验结果证实该电源具有恒流控制效果好,电流截止负反馈反应迅速,工作稳定等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周志文	西北民族大学电气工程学院	35	108	5.0	8.0
2	王晓燕	西北民族大学电气工程学院	26	131	6.0	10.0