双极性脉冲磁控溅射电源设计

• 作者: 叶超 康传会 张信 李博婷 李波 谭巍巍 赵娟 鲁向阳 黄宇鹏 黄斌 齐卓筠
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 双极性脉冲 FPGA 桥式脉冲形成网络 等离子体
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 脉冲功率技术
• 页码范围: 108-113
• 页数: 6页
• 分类号: TN86
• 字数: 2909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201830.170393

摘要

双极性脉冲电源是磁控溅射系统中的关键设备之一.根据铌溅射处理装置的技术要求,研制了一套输出电压0~800 V可调、脉冲宽度20~200 μs可调、频率0~60 Hz可调、脉冲电流最大幅值约150 A的双极性脉冲电源,分别给出了该电源在水电阻负载和等离子体负载下的实验结果.设计上采用 DSP 控制开关电源的方式对储能电容器进行恒流充电;综合应用 FPGA,PLC及触摸屏组成人机交互系统,控制输出光脉冲信号,经负压偏置驱动后使桥式结构的脉冲形成网络产生正负交替双极性脉冲.通过大量实验论证,该电源解决了等离子体负载放电打弧等问题,达到了理想的溅射效果,满足了指标要求.