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激光入射角对振镜扫描激光刻蚀质量的影响
激光入射角对振镜扫描激光刻蚀质量的影响
作者:
曹宇
李峰平
胡雪林
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
振镜扫描
激光刻蚀
光斑畸变
焦深
光束入射角
摘要:
以加工焦深限制范围内的倾斜平面模型来模拟工件表面的微观不平坦状况,对激光束以一定倾角入射工件表面的光斑畸变及其对刻蚀质量的影响开展了理论和实验方面的初步探索.结果表明,随着激光束入射方向与工件表面法向的夹角(简称入射角)的增大,光斑畸变量也越来越大,振镜沿水平路径扫描的刻蚀线宽始终比竖直路径的大,刻蚀线长始终比竖直路径的小;相对于水平刻蚀路径,竖直刻蚀路径刻槽的任意位置经历的激光辐照时间更长,物质蒸发、重熔更充分,刻槽更深,金属重铸层更厚,刻槽的侧壁和底部形貌更为平整光滑.
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文献信息
篇名
激光入射角对振镜扫描激光刻蚀质量的影响
来源期刊
温州大学学报(自然科学版)
学科
工学
关键词
振镜扫描
激光刻蚀
光斑畸变
焦深
光束入射角
年,卷(期)
2014,(1)
所属期刊栏目
其它
研究方向
页码范围
58-62
页数
5页
分类号
TN249
字数
1765字
语种
中文
DOI
10.3875/j.issn.1674-3563.2014.01.009
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
李峰平
温州大学机电工程学院
40
381
10.0
18.0
2
曹宇
温州大学机电工程学院
15
31
3.0
5.0
3
胡雪林
温州大学机电工程学院
1
1
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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2020(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
振镜扫描
激光刻蚀
光斑畸变
焦深
光束入射角
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
温州大学学报(自然科学版)
主办单位:
温州大学
出版周期:
季刊
ISSN:
1674-3563
CN:
33-1344/N
开本:
大16开
出版地:
浙江省温州市茶山
邮发代号:
创刊时间:
1963
语种:
chi
出版文献量(篇)
1558
总下载数(次)
0
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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