基于Ag纳米线的微纳电解加工研究

• 作者: 吴修娟 曲宁松 曾永彬 朱荻 王玉峰
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: Ag纳米线 微纳工具电极 微纳电解加工 离子溅射
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 设计窑研究
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TG662
• 字数: 2820字
• 语种: 中文

摘要

采用尖端自组装了Ag纳米线的扫描隧道显微镜探针作为微纳工具电极进行电解加工试验研究。加工过程中发现Ag纳米线与电解液发生反应而溶解。为了使Ag纳米线稳定用于电解加工，对其表面溅射金属Au。试验结果表明，当溅射层厚度为27 nm和55 nm时，溅射层不够致密，Ag纳米线仍会发生溶解；当溅射层厚度为310 nm时，过厚的溅射层使Ag纳米线发生弯曲，从而使Ag纳米线与扫描隧道显微镜探针尖端的结合力变小并发生脱落；当溅射层厚度为150 nm和240 nm时，Ag纳米线在电解加工中均能保持稳定。采用溅射层厚度为150 nm的Ag纳米线进行微纳电解加工。在0.1 mol/L的H2SO4电解液中，施加电压4 V、周期50 ns、脉宽6 ns的纳秒脉宽脉冲电流，在高温合金试件表面成功加工出微纳沟槽，沟槽深约110 nm，入口最宽处约1μm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻	南京航空航天大学机电学院	237	3580	30.0	43.0
2	曲宁松	南京航空航天大学机电学院	95	905	19.0	24.0
3	曾永彬	南京航空航天大学机电学院	54	480	14.0	18.0
4	王玉峰	南京航空航天大学机电学院	5	15	2.0	3.0
5	吴修娟	南京航空航天大学机电学院	4	9	2.0	2.0