硬质合金EBSD分析的影响因素

• 作者: 徐银超 李园园 林江华 温光华 陈响明 高跃红
• 来源期刊: 硬质合金
• 关键词: 硬质合金 EBSD SEM图像 菊池花样 标定 降噪声
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 353-360
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7292.2014.06.005

摘要

运用电子背散射衍射(Electron Backscattering Diffraction,EBSD)技术,通过对硬质合金样品进行大量EBSD实验,从样品表面SEM分析、菊池花样分析、Indexing &MAD分析、采集前后晶粒形貌对比以及Noise Reduction五个方面阐明硬质合金EBSD分析的影响因素.以WC-6％Co(质量分数)硬质合金的EBSD实验为例,实验中得到“新鲜”的SEM图像,清晰的EBSP,高达88％的WC Indexing及平均值为0.33的MAD指数,EBSD结果相对SEM图像无明显漂移,表明获得的EBSD分析结果具有较高的质量.