30 m望远镜三镜镜面面形误差的斜率均方根评价

• 作者: 安其昌 王富国
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 30 m望远镜 表面面形 面形误差 斜率均方根 均方根
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1171-1175
• 页数: 5页
• 分类号: TH743
• 字数: 2590字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142205.1171

摘要

由于传统的均方根方法在评价大口径反射镜时难以精确表达光学表面的中空间频率误差,本文提出了基于斜率均方根(SlopeRms)的误差评价方法来评价光学表面面形.该方法先以Zernike多项式拟合光学表面面形,在此基础上求解不同空间间隔上的斜率均方根.这种评价方法可以很好地区分小尺寸磨削工具造成的误差和大口径反射镜在多点支撑下造成的面形误差.文中建立了SlopeRms的数学模型,推导了SlopeRms的计算方法,并以此方法为基础对30 m望远镜(TMT)三镜面形进行了评价.结果显示,采用斜率均方根的评价方法得到的光学表面面形值达到0.9 μrad,优于传统的RMS评价方法(RMS=115 nm),满足设计要求.结果显示,基于斜率均方根的误差评价方法能更加全面和客观地评价大口径反射镜面形,具有实际意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王富国	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	52	540	15.0	21.0
2	安其昌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	48	164	7.0	10.0