双束聚焦离子束工作原理及微电子领域的应用

• 作者: 杨苗苗 蔡斌 马元春
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 双束聚焦离子束 剖面制备 透射电镜样品 微加工 电路修补
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 7-11
• 分类号: TN305
• 语种: 中文

摘要

聚焦离子束系统以其超强的微加工及微分析能力在微电子领域的地位越来越重要.随着聚焦离子束系统的发展,离子束和电子束结合的双束聚焦离子束系统已经普遍被使用.双束聚焦离子束系统结合了高能离子束和电子束的优点,采用液态镓离子源通过高压引出,并经偏转会聚为离子束实现样品加工,利用高能电子束扫描样品成像,可以做到边加工边观察.本文介绍了双束聚焦离子束系统的组成,主要部件的工作原理及在微电子领域的主要应用,并详述了主要应用的操作方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡斌		2	5	1.0	2.0
2	杨苗苗		1	4	1.0	1.0
3	马元春		1	4	1.0	1.0