CeO2纳米薄膜的厚度和光学性质

• 作者: 张桂凯 林斯勤 蒙大桥 陈军 陈秋云
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 物理学
• 关键词: 二氧化铈薄膜 厚度 椭圆偏振法 光学常数
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 28-34
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.2014.01.005

摘要

二氧化铈因具有高介电常数、折射率和紫外吸收率而在光学和电子器件方面得到广泛应用.在500℃沉积温度下,采用真空热蒸镀法在单晶Si基体上制备纳米CeO2光学薄膜,用扫描电子显微镜(SEM),X射线衍射仪(XRD)对CeO2薄膜的表面形貌和结构进行了表征和分析.结果表明薄膜呈现多晶纳米颗粒,晶粒粒径为20 nm左右,其形貌均匀致密.用台阶法、反射光谱法和椭偏偏振法对不同沉积时间(6～15 min)制备的薄膜厚度进行对比测量研究,不同测量方法所测薄膜厚度一致,并随着薄膜厚度增加,厚度测量的差值越小.运用德鲁德-洛伦茨(Drude-Lorentz)谐振模型对椭偏参量进行拟合,得到了不同厚度CeO2薄膜的光学常数.结果表明在350～ 1000 nm内其折射率(n)与消光系数(k)随着波长的增加而减少,632.8 nm波长下,薄膜折射率在2.11 ～2.20,并且薄膜的折射率随着薄膜厚度的增加而增加,而消光系数k随着薄膜厚度的增加而减少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈秋云		7	26	3.0	5.0
2	张桂凯		26	64	5.0	7.0
3	蒙大桥		12	40	5.0	5.0
4	陈军		4	19	3.0	4.0
5	林斯勤		2	8	2.0	2.0