一种高端芯片厂洁净室设计提案构想介绍

• 作者: 杨政谕
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 关键词: 芯片厂 洁净室 设计提案构想
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 问题讨论
• 页码范围: 94-98
• 页数: 5页
• 字数: 4905字
• 语种: 中文

摘要

从高端芯片厂工艺需求与污染控制的角度出发,检视目前芯片厂洁净室的设计概念后,提出另外一种洁净室设计的提案构想,以为业界参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨政谕		7	4	1.0	1.0