衍射型激光扩束器的保真度研究

• 作者: 刘志辉 周崇喜 方亮 李国俊 龚海龙
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射 扩束器 二次非球面 扩束比 保真度
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 32-37
• 页数: 6页
• 分类号: TN245
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0902006

摘要

针对传统的二次非球面折射型激光扩束器存在不易加工、装调困难、体积大、重量大,特别是难以获得高填充比阵列透镜等不足,提出了一种利用衍射型台阶化面型近似二次非球面的激光扩束器方案,结果表明:对于典型的束腰半径为2 mm的高斯光束,衍射型激光扩束器可实现2.8倍的理论扩束比.为了保持扩束过程中激光模式的稳定性,提出了不同区域给定不同台阶数的两类复合结构,解决了扩束过程中保真度和二元衍射元件加工特征尺寸无法同时满足的问题,改进后的系统保真度达95.82％,各区域最小光刻线宽均大于2 μm,能够满足现有光刻加工技术要求.对影响系统保真度主要误差的分析结果表明:离轴误差在-1～1 mm,目镜和物镜倾斜误差分别小于0.1 mm和1.68 mm时,系统保真度仍大于95％,方便装调.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周崇喜	中国科学院光电技术研究所	28	264	10.0	15.0
2	李国俊	中国科学院光电技术研究所	12	59	4.0	7.0
3	刘志辉	中国科学院光电技术研究所	59	413	12.0	17.0
4	方亮	中国科学院光电技术研究所	14	34	3.0	5.0
5	龚海龙	中国科学院光电技术研究所	2	0	0.0	0.0