壳层形态对核/壳结构PS/SiO2复合磨料抛光性能的影响

• 作者: 李志娜 赵晓兵 钱程 陈杨
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 复合磨料 核壳结构 化学机械抛光 壳层形态
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 578-585
• 分类号: TB383
• 语种: 中文

摘要

以聚苯乙烯(PS)微球为内核,通过控制正硅酸乙酯的水解过程制备具有不同壳层形态的核/壳结构PS/SiO2复合磨料,应用于二氧化硅介质层的化学机械抛光,借助AFM测量抛光表面的形貌、轮廓曲线及粗糙度.SEM和TEM结果显示:碱性水解条件下,复合磨料的壳层由SiO2纳米颗粒组成(非连续壳层);酸性条件下,复合磨料的壳层则呈无定型网状(连续壳层).抛光对比试验结果表明:复合磨料的PS弹性内核有利于降低表面粗糙度并减少机械损伤,SiO2壳层则有利于提高材料去除率,复合磨料的核/壳协同效应对于提高抛光质量具有主要影响.相对于非连续壳层复合磨料,具有连续壳层的PS/SiO2复合磨料能够得到更低的抛光表面粗糙度值(RMS =0.136 nm),且在抛光过程中表现出了更好的结构稳定性.然而,PS/SiO2复合磨料的壳层形态对抛光速率的影响则不明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵晓兵	常州大学材料科学与工程学院	23	82	6.0	8.0
2	陈杨	常州大学材料科学与工程学院	28	56	4.0	6.0
3	钱程	常州大学材料科学与工程学院	4	36	3.0	4.0
4	李志娜	常州大学材料科学与工程学院	3	8	2.0	2.0