基于聚酰亚胺介质的单平面微液滴驱动芯片

• 作者: 唐祯安 李美花 王心怡 闫卫平
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 介电润湿(EWOD) 数字微流控芯片 微液滴 聚酰亚胺(PI) 聚偏氟乙烯和三氟乙烯的二元共聚物
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 42-47
• 分类号: O357.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.01.007

摘要

根据介电润湿(EWOD)原理,建立了电润湿力与驱动电压的关系,提出一种基于聚酰亚胺介质的单平面微液滴驱动芯片设计方案.该芯片利用MEMS技术在铬版玻璃上分别制作出金属微电极阵列和聚酰亚胺介质膜,再使用聚四氟乙烯分散液进行疏水处理,通过在电极阵列和微液滴之间直接施加电压以实现微液滴的驱动.对单平面微液滴驱动芯片的液滴介电润湿效应进行了仿真分析,结果表明仅使用疏水层便可观察到明显的介电润湿现象,接触角测量值与理论值吻合较好.使用该驱动芯片成功实现了微液滴的稳定传输,传输速度达到3.31 mm/s左右,并在实验基础上分析了传输速度与驱动电压幅值和频率的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学电子科学与技术学院	142	1281	17.0	29.0
2	闫卫平	大连理工大学电子科学与技术学院	57	328	9.0	14.0
3	李美花	大连理工大学电子科学与技术学院	13	77	4.0	8.0
4	王心怡	大连理工大学电子科学与技术学院	2	2	1.0	1.0