缝式喷嘴结构参数对出口流场分布的影响

• 作者: 相颖杰 苏芳臣 陈建钧 高超
• 来源期刊: 华东理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 缝式喷嘴 流场仿真 试验设计方法
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 785-790
• 页数: 6页
• 分类号: TH122
• 字数: 2349字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种用于化学气相沉积法制备6.5％硅钢(wsi=6.5％)的缝式喷嘴结构.利用数值仿真方法模拟了不同结构参数下喷嘴出口处SiCl4气体速度分布情况.基于试验设计方法分析了结构参数对喷嘴出口处速度场分布的影响,以及各影响因素的重要程度.通过软件进行优化分析得到了最优的结构参数.通过实验对仿真结果进行了验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建钧	华东理工大学机械与动力工程学院	55	167	8.0	10.0
2	高超	华东理工大学机械与动力工程学院	4	50	3.0	4.0
3	相颖杰	华东理工大学机械与动力工程学院	4	12	3.0	3.0
4	苏芳臣	华东理工大学机械与动力工程学院	3	11	3.0	3.0