新型一等大量块标准装置的研制

• 作者: 刘香斌 吴月艳 张旭东
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 量块 移相干涉 小数重合法
• 年，卷（期）: 2014,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 67-71
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3376字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2014.z1.015

摘要

采用多波长干涉法实现125～1 000 mm量块的高精度测量.633 nm、543 nm和612 nm 3种激光波长通过单根光纤引入到一台泰曼-格林型干涉仪中,采用小数重合法进行量块长度测量.改进的Edlen公式用于激光波长修正,干涉条纹小数采用5步移相法计算,专用的测量软件完成量块的自动测量.对测量装置进行了大量的测量实验,测量不确定度为U=0.02 μm+0.1×10-6L(k=3).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张旭东		29	80	4.0	7.0
2	刘香斌		26	63	5.0	5.0
3	吴月艳		21	43	4.0	4.0