聚焦离子束加工单晶体金刚石刀具实验研究

• 作者: 兀伟 徐博良 徐宗伟 李万里 贾瑞丽
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石刀具 聚焦离子束 晶面晶向
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 424-428
• 分类号: TG706|TG712|TN304.1+8
• 语种: 中文
• DOI: 10.13494/j.npe.20130102

摘要

作为超精密切削加工刀具的理想材料,单晶体金刚石材料的加工制造方法直接决定了刀具切削加工表面的精度和质量.由于金刚石材料具有明显的各向异性,在传统的金刚石刀具机械刃磨法中需要综合考虑制备工艺和刀具性能的协同关系,主要包括不同晶面表现出显著的物理机械性能差异、不同晶向存在显著的难磨和易磨方向等.本文针对聚焦离子束(FIB)技术加工金刚石刀具的过程中,金刚石材料性质对聚焦离子束加工质量、加工效率的影响规律等关键工艺开展了研究.研究发现,与传统的机械刃磨法相比,聚焦离子束加工是基于高能离子束的轰击溅射实现材料的去除,聚焦离子束加工中存在的级联碰撞现象显著弱化了金刚石材料各向异性的影响.