聚焦离子束加工单晶金刚石的亚表层损伤研究

• 作者: 陈俊云 靳田野 鹿玲
• 来源期刊: 燕山大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: FIB 亚表层损伤 金刚石 SRIM
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 420-424,463
• 页数: 6页
• 分类号: TH161
• 字数: 4759字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-791X.2015.05.006

摘要

为保证聚焦离子束(FIB)制造微细零部件或微刀具等的加工表面使用性能和使用寿命,研究了使用FIB技术加工单晶金刚石超硬材料的亚表层损伤.从粒子碰撞和能量交换两种角度分析了FIB加工亚表层损伤的形成原理,利用SRIM软件模拟了FIB加工单晶金刚石的离子轰击过程,确定了FIB亚表层损伤区域横截面半径,以及亚表层损伤深度.研究表明,理论上FIB加工金刚石靶材,其亚表层损伤截面半径不超过微米级零部件特征尺寸的2％,损伤深度不超过1％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鹿玲	燕山大学机械工程学院	22	175	7.0	12.0
2	陈俊云	燕山大学车辆工程与能源学院	10	21	4.0	4.0
3	靳田野	燕山大学机械工程学院	3	11	2.0	3.0