微波等离子体炬反应区的冷模测量与仿真

• 作者: 廖姗姗 张博雅 张贵新 王仲 王博然 王强
• 来源期刊: 高电压技术
• 关键词: 微波 等离子体炬 反应区 冷模实验 电磁仿真 调谐
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 高电压新技术
• 页码范围: 262-268
• 页数: 7页
• 字数: 3717字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13336/j.1003-6520.hve.2014.01.039

摘要

为了分析波导反应腔调谐参数以及微波源频率对等离子体反应区电场强度的影响,对2.45 GHz微波等离子体炬(MPT)的反应区进行了冷模测量实验,与专业高频电磁仿真软件(CST)电磁仿真进行对比,并通过热测实验验证.研究结果表明:冷模实验与仿真得到的各参数对反应区电场强度的影响规律相符,调谐最优值存在一定的偏差;该装置的能量辐射主要以磁耦合为主;在调谐圆柱总高度为45.21～50.04 mm时,反应区的电场强度较大;远离辐射孔时,微波能量迅速衰减.采用冷模实验得到的最优调谐参数,该波导装置在0.8～2.0kW微波功率下成功激发开放稳定的氩气、氦气、氮气、空气等离子体炬.作为一种测量微波能量分布的方法,冷模实验可准确、有效地为大功率热测实验提供最优调谐参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	清华大学电机工程与应用电子技术系气体放电与等离子体实验室	138	1646	24.0	36.0
2	张贵新	清华大学电机工程与应用电子技术系气体放电与等离子体实验室	76	1111	16.0	30.0
3	王仲	清华大学电机工程与应用电子技术系气体放电与等离子体实验室	20	77	5.0	8.0
4	廖姗姗	清华大学电机工程与应用电子技术系气体放电与等离子体实验室	1	3	1.0	1.0
5	张博雅	清华大学电机工程与应用电子技术系气体放电与等离子体实验室	6	101	3.0	6.0
6	王博然	康奈尔大学电气及计算机工程学院	1	3	1.0	1.0