钎焊金刚石线锯切割单晶硅材料时的断裂行为研究

• 作者: 张国青 徐西鹏 黄辉
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 钎焊线锯 受力分析 疲劳断裂
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164|TG74
• 字数: 2761字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2014.4.0002

摘要

利用铜基钎料钎焊制备小直径金刚石线锯，观察线锯形貌，测试线锯力学性能，并在不同切割参数下对单晶硅材料进行切割，记录观察切割过程中的线锯受力，观察线锯断口形貌，探讨小直径钎焊金刚石线锯线锯过程中断裂行为及断裂机理。研究结果表明，线锯的断裂主要有正常疲劳断裂和非正常拉断。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐西鹏	华侨大学脆性材料加工技术教育部工程研究中心	186	1660	20.0	28.0
2	黄辉	华侨大学脆性材料加工技术教育部工程研究中心	92	796	17.0	23.0
3	张国青	华侨大学脆性材料加工技术教育部工程研究中心	10	86	5.0	9.0