大口径光学元件表面灰尘与麻点自动判别

• 作者: 严路 刘东 曹频 李璐 杨甬英 沈亦兵 王世通 陈晓钰
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 表面疵病 灰尘 麻点 模式识别 因子分析 贝叶斯判别
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 103-108
• 页数: 6页
• 分类号: TP391.4
• 字数: 4247字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB201426.012001

摘要

在大口径光学元件表面疵病初检时,灰尘和麻点由于形态类似,不易区分.针对该问题,提出了一种基于模式识别理论的灰尘麻点判别方法.该判别方法以既有的疵病检测系统为基础,根据灰尘麻点的暗场成像特点,选取了合适的特征并根据因子分析理论对特征进行变换,最后基于贝叶斯判别原理对灰尘麻点进行分类.采用自制定标板建立了灰尘麻点训练样本库,并进行多组实验,选取了合适的判别函数,最后进行了对未知样品表面灰尘麻点的区分.实验结果表明,该判别方法的正确率可以达到95％以上.目前此判别方法已经用于惯性约束聚变系统中大口径光学元件表面灰尘与麻点自动区分.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈亦兵	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	40	431	10.0	19.0
2	李璐	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	16	34	3.0	5.0
3	杨甬英	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	44	354	11.0	18.0
4	曹频	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	1	10	1.0	1.0
5	严路	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	1	10	1.0	1.0
6	王世通	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	2	10	1.0	2.0
7	陈晓钰	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	5	36	4.0	5.0
8	刘东		1	10	1.0	1.0