以环戊二烯为碳源制备类富勒烯结构碳基薄膜的结构及力学性能

• 作者: 吴坤尧 张俊彦 张庆堂 张斌 龚珍彬
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 环戊二烯 碳基薄膜 力学性能 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 89-94
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.04.014

摘要

以环戊二烯为碳源,采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在Si单晶<n-100>面上制备了类金刚石薄膜.采用FEI Tecnai F30型高分辨透射电镜(HRTEM)和LAMRAM HR 800型拉曼光谱仪对薄膜及磨屑的结构进行表征;利用MFT-R4000摩擦磨损试验机、Hysitron Ti-950型原位纳米力学测试系统考察薄膜的摩擦学及力学性能.结果表明:所制备的金刚石薄膜具有富勒烯纳米团簇/非晶复合纳米结构,在磨屑中也出现了这种稳定的片层结构从而起到了良好的减摩作用;并且薄膜表现出优异的力学性能和摩擦学性能:其硬度为26.8 GPa、弹性回复为85％、摩擦因数为0.01.由于这种特殊纳米结构的存在,使得薄膜的力学性能及摩擦学性能显著提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	201	3903	35.0	56.0
2	张俊彦	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	59	707	12.0	25.0
3	吴坤尧	兰州理工大学石油化工学院	3	8	2.0	2.0
7	龚珍彬	兰州理工大学石油化工学院	3	8	2.0	2.0
11	张庆堂	兰州理工大学石油化工学院	15	21	3.0	3.0