大口径深焦比Hindle球面镜曲率半径精确测量

• 作者: 李俊峰
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: Hindle 球面反射镜 曲率半径 三坐标测量
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1401-1407
• 页数: 7页
• 分类号: TG8|TH741
• 字数: 2603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13382/j.jemi.2014.12.015

摘要

Hindle法无像差法检测凸双曲面中,大口径深焦比球面反射镜的曲率半径测量是关键技术之一.提出了一种基于激光干涉仪、三坐标测量臂及标准定标球相结合测量球面曲率半径的方法.在球面镜面形干涉检验光路中引入一个标准定标球体,将其球心与检测系统的焦点重合,应用FARO测量臂对标准定标球体球心和被检球面镜镜面点坐标进行采样,从而计算球面镜曲率半径值.对一个口径Φ800 mm、设计半径为861.8mm的球面标准反射镜进行曲率半径测量及精度分析,实测曲率半径为862.036mm,系统的最大测量误差为±0.036 mm,测量不确定度为±0.015 mm;经Zemax软件分析,该测量误差对双曲面检测精度的影响仅为精度要求的3.4％,验证了这种球面半径测量方法的有效性及实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	29	122	7.0	9.0