微细掩膜电解加工的孤岛有限元仿真研究

• 作者: 何长运 唐仪 郭钟宁 黄志刚 黄红光
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 孤岛 电化学加工 电流密度 微结构
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 设计?研究
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TG662
• 字数: 2286字
• 语种: 中文

摘要

在微细掩膜电解加工初期，被加工表面会形成孤岛结构，不利于加工出形状、精度良好的浅表面微结构，故减小电解加工过程中的孤岛结构很有必要。采用有限元方法建立了微细掩膜电解加工的数学模型，并利用该模型分析掩膜厚度和加工间隙对孤岛变化的影响，进而推论出电解加工开始时，被加工面上不均匀的电流密度分布是形成孤岛的原因。通过增加被加工表面的电流密度的均匀性，可提高浅表面微结构的加工质量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁	广东工业大学机电工程学院	197	1090	16.0	23.0
2	黄志刚	广东工业大学机电工程学院	35	182	7.0	12.0
3	唐仪	广东工业大学机电工程学院	3	6	2.0	2.0
4	黄红光	广东工业大学机电工程学院	8	16	2.0	3.0
5	何长运	广东工业大学机电工程学院	3	7	2.0	2.0