谐振面积与电极图案对质量传感器性能的影响

• 作者: 郑丹
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 质量传感器 谐振面积 电极图案
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 83-85
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 字数: 1748字
• 语种: 中文

摘要

在p型(100)单晶Si基衬底上,利用磁控溅射设备完成直流溅射Mo/Ti布拉格反射层和射频反应溅射AlN压电层,用光刻微加工工艺设计了不同谐振面积与电极图案的Ti/Au上电极,在优化工艺条件下制备了氮化铝基体声波质量传感器,比较分析了不同电极图案和谐振面积对传感器性能的影响.研究表明,电极图案相同时,谐振面积为10 000(100×100) μm2的器件电学性能最好,谐振面积相同时,电极图案为圆形的损耗最小;内角为直角的正方形损耗最大,内角为钝角的五边形损耗居中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑丹	武汉软件工程职业学院光电系	26	32	3.0	4.0