微机械氮化硅梁谐振式压力传感器

• 作者: 于中尧 崔大付 王利 陈德勇
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微电子机械加工技术 氮化硅梁 谐振式压力传感器
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统器件与工艺
• 页码范围: 543-547
• 页数: 5页
• 分类号: TP21
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.032

摘要

报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器.器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制.谐振频率85 kHz,空气中品质因素Q值接近1 000,在真空中达到40 000.采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性,压力测试范围0～400 kPa,灵敏度23.8 Hz/kPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔大付	中国科学院电子学研究所	77	974	17.0	27.0
2	王利	中国科学院电子学研究所	57	381	11.0	17.0
3	陈德勇	中国科学院电子学研究所	48	348	11.0	16.0
4	于中尧	中国科学院电子学研究所	7	87	5.0	7.0