0.22 THz折叠波导慢波结构微细WEDM加工技术

• 作者: 刘俊 向伟 周亚军 戴晶怡 王亚军 陈虎
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 折叠波导慢波结构 微细电火花线切割 表面质量 表面残余应力
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 太赫兹科学技术
• 页码范围: 330-333
• 页数: 4页
• 分类号: TN124+.2
• 字数: 2579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201403.0330

摘要

0.22 THz 折叠波导慢波结构具有尺寸小，刚度低，精确度与表面光洁度要求高，结构复杂的特点。若采用微数控铣削加工方式，加工产生的应力易造成零件变形。微细电火花线切割加工技术为无刚性电蚀加工，非常适合慢波结构的微细加工。本文从微能脉冲电源、微细电极丝、表面质量、表面残余应力等方面，介绍了0.22 THz 折叠波导慢波结构微电火花线切割加工技术，实践证明：采用微电火花线切割加工工艺加工出的0.22 THz 折叠波导慢波结构，经测试满足了设计要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亚军	中国工程物理研究院电子工程研究所	33	155	7.0	10.0
2	刘俊	中国工程物理研究院电子工程研究所	66	281	8.0	12.0
3	戴晶怡	中国工程物理研究院电子工程研究所	26	94	6.0	7.0
4	陈虎	中国工程物理研究院电子工程研究所	10	15	2.0	3.0
5	向伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	105	6.0	8.0
6	周亚军	中国工程物理研究院电子工程研究所	1	3	1.0	1.0