位移台定位误差的二元函数分段插值快速补偿

• 作者: 叶树亮 朱善安 朱维斌 王皓
• 来源期刊: 机械设计
• 学科: 工学
• 关键词: 位移台 误差补偿 分段插值法 二元函数
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TH711
• 语种: 中文

摘要

以一维位移台为对象,将误差划分为与位置和位移速度相关的函数,在分析现有的一元、二元函数插值补偿方法的基础上,对一次函数分段插值补偿方法加以优化,建立了快速的二元函数补偿方法.实验数据显示,优化后的补偿方法同时补偿了位移平台的位置、速度相关的误差,补偿精度优于一元函数补偿方法,在保证补偿效果与传统二元函数方法相同的情况下,减小了1/3的补偿过程运算量.